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三星電子和海力士正將“替代日本氟化氫”提上日程

自從日本將韓國移出享受出口優待的貿易白色名單后,許多韓國企業陸續采取應對措施,繼LG成功測試并使用氟化氫后,三星電子也在近期撤換部分日本氟化氫產品,并成功將替代品投入部分制程……

據韓媒BusinessKorea報導,三星電子部分半導體制程中,已將日制氟化氫的替代品投入部分制程中。

三星電子在通過引進大陸、臺灣的原料,并制成半導體制程用材料,并在上個月中旬開始投入部分制程。據業界人士透露,三星電子依照測試完成產品順序,量產后投入制程。

日本自7月加強對韓出口限制,氟化氫、氟化聚酰亞胺、光刻膠皆被列入出口管制類別,導致三星電子未來引進Stella Chemifa、森田化學等日本企業的產品恐受阻,因此三星電子攜手韓國企業SoulBrain、ENF TECHNOLOGY,合力制造替代品。

過去這兩家企業主要從日本Stella Chemifa、森田化學進口氟化氫,提煉蝕刻液體后,再交予三星電子,因此擁有一定的技術能力。

三星電子發言人表示,“我們正在開始在公司一些制造工藝和產品中使用非日本產的氟化氫,因為使用化合物即將從不太敏感的工藝演變到更敏感的工藝階段。”

另一家韓國企業SK海力士也正在加快自制氟化氫的腳步。報道指出,SK海力士取得相當數量的替代材料。過去提供SK海力士氟化氫的韓國企業RAM TECHNOLOGY表示,其已提供SK海力士數百噸的原料。

業界人士預測,到月底韓國將制造完一批氟化氫,且能夠替代日制產品,未來SoulBrain工廠擴建完工后,將能提供更多氟化氫給三星電子、SK海力士。

責任編輯:Elaine

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